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( ) Mikrosystemtechnik. - Berlin [u.a.] : Springer, 2003. - X, 119 S. : Ill., graph. Darst. ( Kollat: X, 119 S. : Ill., graph. Darst.) (Engineering) ISBN: 3-540-00156-5 Sign.: II 199.478 * Inv.Nr.: 150.368 * Standort: Magazin