NÖLB ) Sagmeister, Andreas: Optimierung von CVD Prozessen für die Herstellung von integrierten Schaltkreisen. - [Wiener Neustadt] , 2007. - 93 Bl. : Ill. graph. Darst. ( Kollat: 93 Bl. : Ill. graph. Darst.)Zsfassungen in dt. und engl. Sprache. - Wiener Neustadt, Fachhochschul-Diplomstudiengang Präzisions-, System- und Informationstechnik, Dipl.-Arb., 2007
Sign.: 121.273 C * Regal: Gesperrt bis 30.06.2012